你说拍完sem再拍AFM会不会对粗糙度有影响啊

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李文昊;巴音贺希格;齐向东;;[J];微细加笁技术;2007年01期

刘健敏;夏义本;王林军;阮建锋;苏青峰;蒋丽雯;史伟民;;[J];材料科学与工艺;2006年04期

刘陈;朱光喜;刘德明;;[J];华中科技大学学报(自然科学版);2007年07期

林晓輝;史铁林;廖广兰;汤自荣;彭平;王海珊;;[J];功能材料与器件学报;2008年02期

许恒星;王金良;唐宁;彭洪勇;范超;;[J];人工晶体学报;2009年04期

熊娟;顾豪爽;胡宽;吴小鹏;吴雯;;[J];压電与声光;2009年05期

王元樟;李金钗;李书平;陈航洋;刘达艺;康俊勇;;[J];厦门理工学院学报;2010年01期

张秀芳;杜红文;张瑞丽;张亚萍;孙法;席珍强;;[J];浙江理工大学学报;2010年02期

蒋臣迪;徐华伟;秦莉;王立军;;[J];半导体光电;2010年02期

任洁;傅莉;孙玉宝;査钢强;;[J];压电与声光;2011年04期

阮建锋;夏义本;王林军;刘健敏;蒋丽雯;崔江涛;苏青峰;史伟民;;[J];功能材料与器件学报;2006年02期

蒋洪奎;姚汤伟;胡礼广;沈亚强;虞献文;;[J];中国工程科学;2008年07期

褚家如黄文浩，洪义麟付绍军;[J];电子显微学报;1995年01期

朱弋,阮興云,徐志荣,杨德清;[J];医疗设备信息;2005年11期

欧谷平;宋珍;桂文明;张福甲;;[J];半导体学报;2006年02期

房轩;李艳宁;胡晓东;胡小唐;;[J];中国机械工程;2007年13期

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原理：电子束在样品表面扫描高能电子束与样品物质相互作用产生

的图像景深大，视野大只能提供

景深小，视野较小能提供

高度的测量。图像的纵向

能区分原子級表面变化，可计算出样品表面的粗糙度在

射线，获得样品成分的定性、

半定量甚至定量结果。

通过对样品的物理特性如硬度、弹性、摩擦力、粗糙度，磁场力导电

性，温度分布和材料表面组成等样品特性提供不同样品的成分信息。

样品制备非常简单工作区域選取非常盲目，而且工作区域非常有限只

能在微米尺度范围进行扫描，对较大样品表面进行扫描非常困难

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