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硅片切割废料回收碳化硅粉体的研究
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青海大学硕士学位论文
硅片是半导体、太阳能等行业的基本材料，在硅片切割加工的废料中，含
有大量的碳化硅、硅粉和铁屑。从该废料中回收经济价值较高的碳化硅，可回
用于硅片切割，也可用于制造半导体、陶瓷等。
首先，本文通过酸碱提纯法对废料进行提纯实验研究，分别探讨了废料酸
洗除杂过程中各因素(酸的浓度、液固比、反应时间、反应温度) 以及碱洗除杂
过程中各因素(碱液的种类、碱液的浓度、液固比、反应时间、反应温度)对碳
化硅纯度的影响。通过实验得出以下结论：酸洗条件：酸的浓度为 3.0mol/L、
液固比为 2.0:1mL/g、反应温度为60℃、反应时间为50min 。碱洗条件：NaOH
溶液浓度为 15%，液固比为2.5:1mL/g，反应温度为50℃，反应时间为8min。
提纯后碳化硅的纯度达到 99.44% 。同时，对废料固体组分中杂质铁与盐酸的反
应动力学进行了研究，并获得了动力学参数。结果表明，该反应过程符合流-固
相非催化反应中的收缩未反应芯模型，该过程的控制步骤为流体滞流膜控制。
其次，本文通过泡沫浮选法对废料进行提纯实验研究，通过捕收剂的初选
和终选，确定以煤油做捕收剂进行浮选。研究了捕收剂浓度、pH 值、固液比及
粒度对分离效果的影响。当捕收剂用量为 50mL/g 、pH
值为 8.3 、固液比为
3:400g/mL、粒度为8.636μm 时，分离效果最佳，此条件下回收的碳化硅纯度为
99.08% 。同时对浮选机理进行了研究，利用浮选前后物质的红外光谱分析可知
煤油和碳化硅的吸附形式主要为物理吸附。
关键词：废料
青海大学硕士学位论文
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